A Closed-Loop System for Resonant MEMS Sensors Subject to Blue-Sideband Excitation

Xu, Lei; Xi, Jingqian; Li, Fangzheng; Pi, Jianyuan; Li, Chang-Jiu; Wang, Kunfeng; Xiong, Xingyin; Wang, Yuan; Liu, Huafeng; Zou, Xudong; Zhao, Chun

doi:10.1109/jmems.2022.3183021

Cited by 9 publications

(1 citation statement)

References 54 publications

Supporting

Mentioning

Contrasting

Unclassified

Order By: Relevance

“…[16] ще в 1986 році, який вручну виготовив кантилевер, вирізавши тонку плівку золотої фольги. Крім того, кантилевер використовувався для приведення в дію різними методами, такими як електротермічний [17] Однак, незважаючи на масштабність наукових досліджень за окресленою тематикою, питання розробки датчика в'язкості газу на основі сенсорної технології та мікроконтролера залишається відкритим та потребує детального опрацювання.…”

Section: датчик в'язкості газу на мікроконтролеріunclassified

Датчик В’язкості Газу На Мікроконтролері

Бойкиня А.О.,

Заворотний В.Ф.

2023

ПТП

View full text Add to dashboard Cite

24 У рамках даного дослідження здійснено розробку датчика в’язкості газу на основі сенсорної технології та мікроконтролера. Запропоновано використання мікрокантилевера, як найбільш спрощеного пристрою на основі MEMS. Наголошується, що молекули, адсорбовані на поверхні мікрокантилевера, можуть викликати зміни частоти коливань і відхилення мікрокантилевера, а отримані зміни частоти вібрації можна використовувати для вимірювання різних параметрів, таких як в'язкість, щільність і швидкість потоку. Саме цей ефект покладено в основу розробки. Підкреслено, що у даному досліджені цифровий датчик в’язкості газу розроблений для фізичного експерименту на основі сенсорної технології та мікроконтролера. Конструкція цифрового датчика в’язкості газу складається з осцилюючого мікрокантилевера, пікова частота резонансного відгуку якого є основною динамічною характеристикою, яка дуже чутлива до щільності та в'язкості навколишнього середовища. П’єзоелектричний перетворювач інтегрований у верхній частині кантилевера, щоб забезпечити активацію. Наголошено, що п'єзоелектричний ефект, може вимірювати зміни маси на рівні від мікрограмів до нанограмів на одиницю площі. Представлено блок-схему програмного забезпечення системи. Зазначається, що спеціальна друкована плата містить чіп MEMS, датчики тиску та температури, точність системи визначається на основі результатів вимірювань і знання розмірів активного поля кристалу.

show abstract

Section: датчик в'язкості газу на мікроконтролеріunclassified