A Critical Review of Chemical Vapor-Deposited (CVD) Diamond for Electronic Applications

Abstract

The objective of this article is to describe the present understanding of the growth, processing, and properties of diamond for electronic applications.

Nanomechanical resonant structures in nanocrystalline diamond

“…Taking into account the elastic contribution of the gold layer, we derive the value of Young's modulus for the diamond to be 840 GPa. The value obtained from this analysis is about 20% lower than that obtained for some of the diamond films grown under the same conditions and measured using surface acoustic waves 14 and is also outside the range of values of other CVD films 8 or single-crystal diamond. 9 Considering that the beams are released by an isotropic etch which results in an undercut to the base that may contribute to the motion, this additional released material may result in a lower-frequency relative to a rigidly clamped beam.…”

“…Doping during deposition also allows for a wide range of electrical conductivities. 8 In particular, the high Young's modulus of diamond E ͑ϳ1000 GPa͒ as well as relatively low mass density, ͑3500 kg m Ϫ3 ), 9 result in a high sound velocity, ͱE/. As will be shown next, a high sound velocity allows us to retain the size of a resonant structure and still obtain a high resonant frequency.…”

Фотостимуляция Проводимости И Электронные Свойства Автоэмиссионных Наноуглеродных Покрытий На Кремнии

“…Благодаря высокой температуре испарения, химиче-ской инертности и устойчивости ко многим разрушаю-щим факторам углерод уже в течение продолжительно-го времени считается перспективным материалом для холодных полевых эмиттеров электронов [1][2][3][4][5][6][7][8][9][10][11][12][13]. Такие его формы, как нанотрубки и графен (и подобные им наноленты, наноконусы, наносвитки и т.…”

“…Несмотря на высокую распространенность данного явления, его природа оста-ется окончательно не выясненной, о чем свидетель-ствует разнообразие предлагаемых моделей. Их можно найти, например, в оригинальных работах [15][16][17][18][19][20][21][22][23], а в систематизированном виде -в более ранних обзо-рах [1][2][3][24][25][26][27][28]. Вместе с тем углеродные структуры, где высокая эмиссионная эффективность достигается не за счет высоких значений β, потенциально могут обладать существенными преимуществами.…”

Prospects for the synthesis of large single-crystal diamonds

“…ªÊ ÐËØ ÒÓË ÍÑÏÐÂÕÐÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ ËÑÐËÊËÓÖÇÕÔâ ÏÂÎÂâ AEÑÎâ ì ÏÂÕÇÓËÂÎ ÒÑ-ÎÖÚÂÇÕÔâ ÔÎËÛÍÑÏ ÄÞÔÑÍÑÑÏÐÞÏ. ¬ ÐÂÔÕÑâÜÇÏÖ ÏÑ-ÏÇÐÕÖ Ä àÎÇÍÕÓÑÐËÍÇ AEÎâ ÂÎÏÂÊ ÑÕÄÑAEâÕ ÐËÛÖ ÏÑÜÐÞØ ÔÄÇÓØÄÞÔÑÍÑÚÂÔÕÑÕÐÞØ (³£¹) ÒÓËÃÑÓÑÄ, ÔÒÑÔÑÃÐÞØ ÓÂ-ÃÑÕÂÕß Ä àÍÔÕÓÇÏÂÎßÐÞØ ÖÔÎÑÄËâØ, Ë AEÇÕÇÍÕÑÓÑÄ ËÑÐËÊË-ÓÖáÜËØ ËÊÎÖÚÇÐËÌ ÓÂÊÐÞØ ÄËAEÑÄ [3,5,6]. ²ÂÊÓÂÃÂÕÞ-ÄÂÇÕÔâ ÕÇØÐÑÎÑÅËâ d-ÎÇÅËÓÑÄÂÐËâ ÂÎÏÂÊÂ Ä ÍÂÚÇÔÕÄÇ ÑÔ-ÐÑÄÞ ÒÑÎÖÒÓÑÄÑAEÐËÍÑÄÞØ ÒÓËÃÑÓÑÄ [3,7].…”