A new high-temperature plasma immersion ion implantation system with electron heating

The Surface Treatment of Niobium Superconducting Reentrant Cavities by Means of High Temperature Nitrogen Plasma Based Ion Implantation

“…2a. In this case, the main electron source of the discharge is provided by a low workfunction thermionic emitter 32 . The heating of the substrate can be precisely controlled by varying both, the intensity of the AC voltage applied to heat the thermionic emitter and the level of a slightly positive DC voltage (+V) applied to the substrate.…”

Effects of plasma immersion ion implantation on fatigue properties of titanium alloy surfaces

“…Additional Ti-6Al-4V sample discs of 15-mm diameter and 3-mm thickness were also grounded, polished and cleaned in ultrasound acetone bath. The experimental set-up for the nitrogen HTPIII, where the heating of the substrate is performed with the help of electron bombardment, has been previously described (35) .…”

Análise Das Propriedades Superficiais Do Aço Inoxidável Abnt 304 Modificado Por Implantação Iônica Por Imersão Em Plasma De Nitrogênio Em Alta Temperatura

“…1 está representado o arranjo experimental do sistema 3IP de alta temperatura utilizado neste trabalho. Mais informações e detalhes sobre este sistema podem ser encontrados em outro trabalho (11) . O sistema consiste, basicamente, de: uma câmara de aço inoxidável com entrada para injeção do gás de trabalho; o sistema de vácuo composto por uma bomba mecânica e uma bomba difusora; um porta-amostras, que é polarizado negativamente e atua como ânodo da descarga; além de uma fita de tântalo que faz o papel do catodo.…”

“…Além disso, o catodo favorece a ruptura da descarga devido ao rápido aumento do grau de ionização do gás. É válido destacar que grande parte do ciclo de trabalho, cerca de 98%, é aproveitado para aquecer o substrato, enquanto que no restante ocorre de fato a implantação (11) .…”

“…Com isso, a diferença de potencial entre a fase precipitada e sua região adjacente eleva as taxas de corrosão (10) . Neste trabalho, são apresentados os resultados obtidos usando-se um sistema 3IP de alta temperatura como proposto por Oliveira et al (11) , em que o tratamento afeta a microestrutura do aço inoxidável 304 bem como sua dureza, e desempenhos corrosivo e tribológico, além de ser destacada a viabilidade desta técnica, quando é empregada em temperaturas ainda mais elevadas e destinada à aplicações nas quais a proteção contra ambientes corrosivos não é um requisito primordial.…”