Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет), 141701, Московская область, г. Долгопрудный, Институтский переулок, 9 Статья поступила в редакцию 19 марта 2020 г. Аннотация. Монослой графена является перспективным функциональным материалом в различных устройствах нано-и оптоэлектроники. Известно, что кинетика роста металлов на поверхности графена может существенно отличаться от роста на обычных подложках, что может стать ограничением для получения сплошных тонких пленок металлов. Изучение процесса роста тонких пленок металлов на графене и исследование их свойств представляется важным для разработки технологии создания графен-металлических структур. В данной работе изучены оптические, электрические свойства и морфология тонких пленок меди на подслое графена и проведено сравнение их свойств с аналогичными пленками меди, осажденными на стекло. Показано, что рост меди на графене приводит к образованию наночастиц, размер которых можно контролировать с помощью изменения температуры подложки. В работе также демонстрируется способ осаждения сплошных тонких пленок меди на графене. Ключевые слова: тонкие пленки, графен, диэлектрическая проницаемость, эллипсометрия.Abstract. In recent time, the graphene monolayer is a widely used functional material in various devices of nano-and optoelectronics. It is known that the kinetics of metal growth on graphene surface can significantly differ from the growth on a conventional substrates (Si, glass), which can be a restriction for the fabrication of continuous thin metal films. Therefore, the study of the growth processes of thin films of metal on graphene and the study of their properties are important for the