Ablation laser femtoseconde du carbone : étude du panache plasma et dépôt de couches minces

Abstract

Resume: Le transport du panache plasma cree par ablation laser femtoseconde d'une cible de carbone est etudie par imagerie ultra-rapide. L'energie cinetique des particules emettrices ainsi detectees est voisine de 2 keV pour les plus rapides d'entre elles (detectables pour des delais infeYieurs a 100 ns apres 1'impulsion laser), et de 100 eV pour la composante la plus lumineuse du panache plasma (detectable jusqu'a 1 us apres 1'impulsion laser). Des couches minces de DLC ont egalement ete elaborees par ablation laser femtoseconde. Le film obtenu a une fluence de 0.5 J/cm 2 presente par exemple un taux d'hybridation sp3 du carbone voisin de 55 %.