AES Depth Profiling of Nitrogen Implanted Fe(001)

Abstract

Auger electron spectroscopy (AES) combined with a well controlled ion mill is applied for the study of nitrogen implanted (N$ ions, 120 keV) into iron single crystals in doses ranging from 8 x 10" to 5 x 1017N-atoms/cm2, also with subsequent heat treatment. The nitrogen depth profiles are Gaussian-like in shape for doses up to 1.5 x 1017 Natoms/cm2. At higher doses deviations are observed.The nitride bonding state was indicated but a part of the implanted nitrogen appears to be weakly bonded.Spektroskopie der Augerelektronen in der Kombination mit einer gut kontrollierten Ioneniitzung wurde zum Studium der Stickstoffimplantation (NS Ionen, 120 keV) in die Eisenmonokristalle ausgenutzt. Die Dosis war 8 . 10ls bis 5 . 10'' N-Atome/cm2. Nachtraglich wurden die Proben auch warmebehandelt. Die Stickstoff-Tiefenprofile haben die GauSsche Form bis zur Dosis 1.5. 1017 N-Atome/cmZ. Bei hoheren Dosen wurden Abweichungen beobachtet. Der Nitridbindungszustand wurde indiziert. Ein Teil des Stickstoffs scheint schwacher gebunden zu sein.