Airbag application: a microsystem including a silicon capacitive accelerometer, CMOS switched capacitor electronics and true self-test capability

Informativity as Metrological Characteristics at Design of Sensitive Element of Mems Accelerometers

“…Тенденція до мікромініатюрізації і зниження вартості систем привела до того, що датчики мають конструкцію, що поєднує чутливий елемент і кристал з електронікою в одному малогабаритному корпусі. Такі МЕМС-датчики знаходять широке застосування, починаючи з управляючих систем автомобіля, систем стабілізації платформ в авіації, в персональних / бортових системах навігації для піхоти і машин, високоточних боєпpипасах і закінчуючи електронними іграшками [1,3,6,8,11,13,14,17,20]. Основним вузлом МЕМС-акселерометра, що визначає точність приладу, є його чутливий елемент.…”

Ultrasonic Transducers

“…To fulfill these requirements, DRIE process is developed. By exploiting the new opportunities provided by this powerful tool, many attractive MEMS devices have been fabricated [62][63][64][65][66][67][68][69][70].…”

VHDL-AMS and Verilog-AMS as alternative hardware description languages for efficient modeling of multidiscipline systems

“…This section describes the model of an airbag system [13] that mixes two time abstractions, namely discrete-time and continuous-time, five disciplines, namely mechanical, electrical, optical, thermal and chemical, and three connection semantics, namely conservative, continuous signal-flow, and digital signal-flow. Fig.…”

“…It is not clear, though, whether these restrictions are fundamental to the Verilog-AMS language definition or only a consequence of the Cadence implementation. (1) `include "disciplines.h" (2) `include "constants.h" (3) (4) module cap_sensor (tmass, tmref, tetop, temid, tebot); (5) (6) inout tmass, tmref, tetop, temid, tebot; (7) (8) kinematic tmass, tmref; (9) electrical tetop, temid, tebot; (10) electrical cd_vel, cd_accel; (11) electrical vdiff_tm, vdiff_bm, vdiff_dtm, vdiff_dbm; (12) (13) // mechanical properties (14) parameter real M = 0.16n; // seismic mass (15) parameter real D = 4u; // damping coefficient (16) parameter real K = 2.6455; // spring stiffness (17) // geometrical properties (18) parameter real A = 220f; // capacitor area (19) parameter real D0 = 1.5u; // initial position (20) (21) real cd_pos; (22) real dtm, dbm, ctm, cbm; (23) (24) analog begin (25) // compute displacement of comb drive (26) cd_pos = Pos(tmass); (27) V(cd_vel) <+ ddt(Pos(tmass)); (28) V ( …”