Методика автоматизированного синтеза параметрических моделей пассивных компонентов СВЧ-монолитных интегральных схемПредложена методика автоматизированного синтеза параметрических моделей пассивных компонентов СВЧ-монолитных интегральных схем (МИС) в виде эквивалентных схем (ЭС), при этом элементы ЭС зависят от конструктивных параметров компонентов (например, геометрических размеров). Методика позволяет авто-матизировать решение задач поиска структуры ЭС, а также определения оптимальных порядков аппроксими-рующих многомерных полиномов по отдельным переменным, в качестве которых выступают конструктивные параметры. Как пример, представлено построение параметрической модели интегрального МДМ-конденсатора для 0,15 мкм GaAs-pHEMT-технологии изготовления МИС. Ключевые слова: СВЧ-монолитные интегральные схемы, пассивные компоненты, параметрическая модель, модели в виде эквивалентных схем, синтез, GaAs, МДМ-конденсатор. doi: 10.21293/1818-0442-2016-19-4-101-107 Для повышения эффективности проектирова-ния СВЧ-монолитных интегральных схем (МИС) широко используются параметрические модели, описывающие зависимости электрических характе-ристик активного или пассивного компонента от его конструктивных параметров (например, геометриче-ских размеров) [1][2][3][4][5][6].В частности, параметрические модели приме-няют при построении топологии интегральных схем. Здесь требуется выполнить переход от значений электрических параметров пассивных компонентов (сопротивлений, емкостей, индуктивностей и т.д.) к конструктивным параметрам, определяющим топо-логию компонентов. Другим применением являются параметрический и структурно-параметрический синтез СВЧ-устройств [6-10]. В этих случаях для учета паразитных эффектов предполагается осуще-ствление оптимизации или синтеза устройства с ис-пользованием точных моделей реальных компонен-тов при вариации их конструктивных параметров.Одним из способов построения параметриче-ских моделей в виде эквивалентных схем (ЭС) явля-ется аппроксимация (например, с помощью много-мерных полиномов) зависимостей значений элемен-тов ЭС от конструктивных параметров [3,4]. При этом всевозможные комбинации дискретных значе-ний конструктивных параметров формируют так называемую сетку конструктивных состояний ком-понента [3,4]. Параметрическая ЭС-модель в таком случае представляет собой ЭС, элементы которой описываются с помощью многомерных полиномов, где в качестве переменных выступают конструктив-ные параметры компонента, например: длина и ши-рина обкладок конденсатора, количество витков ка-тушки индуктивности и т.д.Необходимым условием для построения пара-метрической модели компонента на основе аппрок-симации является необходимость единой (одной и той же) структуры ЭС для всех возможных конст-руктивных состояний. Однако существующие мето-дики построения параметрических моделей [3, 4] не дают решения задачи поиска такой общей (тем более оптимальной) структуры ЭС.В связи с этим обычно подходящая структура ЭС находится путем проб и ошибок. Вначале разра-ботчик выбирает некоторую начальную структуру ЭС и выполняет эк...