Análisis de materiales con haces de iones generados por un acelerador electrostático

Abstract

Análisis de materiales con haces de iones generados por un acelerador electrostáticoA. CLIMENt fONt Dpto. Física Aplicada C-xII, Universidad Autónoma Madrid Cantoblanco, E-28049 Madrid.Un acelerador electrostático es una herramienta muy versátil para analizar materiales mediante las técnicas de haces de iones. Estas técnicas, conocidas como técnicas IBA (ion beam analysis), son ampliamente utilizadas para la caracterización cuantitativa y no destructiva de la estructura y la composición de la zona próxima a la superficie de cualquier material, hasta profundidades de 10 μm y con resolución superficial de 2 a 20 nm. Sus aplicaciones abarcan muchos campos, entre los que destacan: ciencia de materiales, microelectrónica, metalurgia, mineralogía, estudios medioambientales, ciencias biomédicas, arte y arqueología, etc. En este trabajo se revisan los principios físicos de las técnicas IBA y algunas de sus capacidades analíticas se ilustran con una selección de ejemplos. Palabras clave: Análisis con haces de iones, caracterización de materiales, RBS, ERDA, PIXE. Materials analysis by ion beam generated from electrostatic accelerator.An electrostatic accelerator is a very versatile tool for the analysis of the materials elemental composition by means of ion beam based analytical techniques. These techniques known as IBA (ion beam analysis) are widely used as a quantitative and non destructive characterization of almost any material down to depth of 10 μm below the surface and with a surface resolution from 2 to 20 nm. Their applications cover a wide range of areas such as: materials science, microelectronics, environmental studies, biomedical sciences, art and archaeology, etc. In this work the general physical principles of IBA are reviewed and its capabilities are illustrated with a selection of examples.