АннотацияЭкспериментально показано, что микроступеньки с квадратным сечением на кварцевой подложке со стороной квадрата 0,4 мкм; 0,5 мкм; 0,6 мкм и 0,8 мкм и высотой 500 нм при ос-вещении со стороны подложки линейно поляризованным лазерным светом с длиной волны λ = 633 нм формируют вблизи своей поверхности области повышенной интенсивности (фо-тонные струи), превышающие интенсивность падающего света почти в 6 раз и имеющие в се-чении диаметры по полуспаду интенсивности 0,44λ; 0,43λ; 0,39λ и 0,47λ, которые меньше ди-фракционного предела 0,51λ. Причём когда сторона квадрата ступеньки меньше длины волны, фокус находится внутри ступеньки, а когда сторона квадрата больше длины волны, фокус -снаружи ступеньки, и это похоже на оптическую свечу. Формировать фотонную струю с по-мощью фиксированной ступеньки на подложке удобнее, чем с помощью микросферы, кото-рую нужно как-то удерживать. Кроме того, все на сегодня экспериментально зарегистриро-ванные фокусные пятна для диэлектрических микросфер больше дифракционного предела.Ключевые слова: фотонная струя, микроступенька, FDTD-метод, сканирующая ближне-польная оптическая микроскопия (СБОМ).
ВведениеФокусировка света в субволновую область является актуальной задачей нанофотоники. Примером решения такой задачи является фокусировка света с помощью диэлектрической микросферы (микрошара). Самой первой работой по субволновой фокусировке света микросферами является работа [1]. В [1] микросферы из кварца диаметром 0,5 мкм, освещаемые эксимер-ным KrF лазером с длиной волны 248 нм, фокусирова-ли свет на кремниевую подложку и выплавляли в ней холмики шириной 100 нм. В [2] был предложен сход-ный механизм формирования микрорельефа: микро-сфера диаметром 1 мкм захватывалась в оптическую ловушку Бесселевым пучком с длиной волны 532 нм, перемещалась в нужную точку, затем, освещаемая им-пульсным лазерным излучением с длиной волны 355 нм, прожигала в подложке ямку и перемещалась далее в следующую точку. В работе [3] были проведе-ны теоретические исследования фокусировки света микросферами. В частности, было показано, что мик-росфера с диаметром 1 мкм (показатель преломления n = 1,59), освещаемая плоской волной с длиной λ = 400 нм, формирует фокусное пятно с диаметром в плоскости, перпендикулярной направлению поляриза-ции, равным full width at half maximum (FWHM) = 0,325λ. В [3] фокусные области, формируе-мые микросферами, названы фотонными наноструями. Прямое экспериментальное наблюдение фотонной на-ноструи было осуществлено в работе [4], где латекс-ные микросферы диаметром 1 мкм, 3 мкм и 5 мкм, ос-вещённые плоской волной с длиной 520 нм, формиро-вали фокусы с диаметрами 0,62λ; 0,52λ и 0,58λ. Т.е. полученные экспериментально фотонное струи имели хоть и субволновый диаметр, но не демонстрировали преодоления дифракционного предела. Другая харак-теристика фотонной наноструи -её длина (глубина фокусировки) исследовалась в [5, 6]. В [5] численно показано, что увеличить длину фотонной наноструи можно используя градиентную микросферу, в которой показатель преломления меняется линейно от 1,43 до 1,5...