Alle rechten voorbehouden. Niets uit deze uitgave mag worden vermenigvuldigd, in enige vorm of op enige wijze, zonder voorafgaande schriftelijke toestemming van de auteur.
List of publicationsThis thesis is based on the following publications:Chapter 3: D. IJpes, A. Yakshin, J. Sturm, and M. Ackermann, "Increasing soft X-ray reflectance of short-period W/Si multilayers using B4C diffusion barriers," Journal of Applied Physics 133, 025302 (2023).Chapter 4: D. IJpes, A. Yakshin, J. Sturm, and M. Ackermann, "Implementing 0.1 nm B4C barriers in ultrashort period 1.0 nm W/Si multilayers for increased soft X-ray reflectance,"