Automated inspections for dimensional micro- and nanometrology

Modular Family of Sensors for a Nanopositioning and Nanomeasuring Machine

“…Automated probe selection and inspection in the field of NPM technology has to be engrossed (Toepfer et al 2007). 3-D microprobes are already in use (Balzer et al 2011).…”

Nanometrología: Impacto en los sistemas de producción

“…Las mediciones de estas propiedades son realizadas por herramientas como el microscopio electrónico de barrido (SEM), el microscopio de fuerza atómica (AFM), el microscopio de efecto túnel (STM) y el microscopio electrónico de transmisión (TEM), que permite conocer el funcionamiento y las propiedades a gran escala de los materiales con los que son fabricados estos dispositivos [20]. Adicional a las técnicas de microscopía, también se emplea la nanometrología dimensional, que permite inspeccionar la geometría y el tamaño de las estructuras, lo mismo que la automatización del proceso de inspección, la cual es apoyada por los sistemas asistidos por computador (CAD) y la calidad asistida por computador (CAQ), así como también por los sensores de alta precisión [21]. Por otro lado, la metrología química tiene un gran impacto en este campo, ya que permite conocer de manera precisa la cantidad de sustancias y propiedades de los nanomateriales para la producción de pantallas electrónicas (pantallas de cristal líquido y pantallas plasma), el análisis químico de un semiconductor y la cantidad precisa de gas en nano litros dentro de un MEMS, haciendo posible la difusión de materiales de referencia certificados, que cumplan con los estándares ambientales [22].…”

“…Esta es una técnica de medición en la cual se utilizan datos históricos a manera de identificar patrones de medida, los cuales de forma repetitiva describen el sistema a controlar según tendencias y correlaciones, así como información de la maquinaria, para ajustar la posición de las herramientas de fabricación con el fin de identificar posibles fallos y realizar mantenimiento preventivo. Con base en esto es posible observar que la metrología virtual contribuye a la generación de patrones o referentes de medición, los cuales proporcionan, en tiempo real, la información necesaria para que los ingenieros ajusten y controlen sus procesos [19][20][21][22][23][24][25][26]. Esta técnica pretende solucionar la falencia de la metrología en este campo, ya que actualmente los procesos metrológicos aplicados en esta industria aumentan el ciclo del proceso y no le aportan ningún valor agregado a la oblea, además pretende garantizar la calidad de cada oblea dado que en el momento solo se garantiza la calidad de una muestra por lote [24].…”