Metallalkoxide bestechen seit den grundlegenden Arbeiten von D. C. Bradley und R. C. Mehrotra durch eine Vielfalt an nieder-und hochmolekularen Strukturen; dariiber hinaus gewinnen sie als Einsatzstoffe bei der Losung materialtechnischer Probleme zunehmend an Interesse. Das Verstidndnis des hydrolytischen Nucleationsverhaltens ist eine Voraussetzung fur die Optimierung von Materialien aus Sol-Gel-Prozessen. Will man Metallalkoxide als Vorstufen in CVD-Prozessen (CVD = chemical vapor deposition) fur die Herstellung oxidischer anorganischer Materialien nut-Zen, so ist allerdings eine hinreichende ~ Fliichtigkeit und zersetzungsfreie Subli-Professor Henri Brunner zum 60. Geburtstag gewidmet mation bei moglichst niedriger Temperatur (< 150 "C) notig. Erst in jiingster Zeit wurde hier mit dem Konzept der Donorfunktionalisierung systematisch ein Typ von Liganden entwickelt, der die Vorteile von sterischem Anspruch und o-Donor-Stabilisierung in sich vereinigt und damit niedennolekulare Metallalkoxide stabilisiert. Mit ihnen bilden selbst groRe Metall-Ionen niedriger Ladung (Ba") fliichtige Alkoxide. 0und N-Donorfunktionen in zwei-und mehrzahnigen Alkoxoliganden sind besonders vorteilhaft ; 2.B. ist der Vanadiumkomplex ~(OCMe,CH,OMe),] eines der fluchtigsten Metallalkoxide. Erste unzersetzt sublimierbare Alkoxide der Erdalkalimetalle Calcium, Strontium und Barium haben die Formel [M,{OC(CH,OiPr),tBu).J. Der vorliegende Aufsatz bietet eine kritische Bestandsaufnahme der Metallalkoxide unter dem Aspekt der Fluchtigkeit, beschreibt Erfolge des Konzepts der Donorfunktionalisierung und zeigt perspektivisch auf, wie man Alkoxoliganden durch Weiterentwicklung dieses Konzepts Metallen nach MaBgabe ihrer Ladungs-Radien-Verhaltnisse ,,auf den Leib schneidern" kann. Stichworte: CVD-Vorstufen . Donorfunktionalisierung . Komplexchemie . Metallalkoxide 1. Einfuhrung Vor mehr als 30 Jahren hat man gelernt, hochreine Oxide der Refraktlrmetalle durch Pyrolyse von Metallalkoxiden herzustellen[', z]. Heute sind einfache, binare und ternare Metalloxide hoher Reinheit von erheblicher Bedeutung in der Materialentwicklung: Dunne Oxidschichten sind in Elektronikmaterialien besonders gefragt, und seit der Entdeckung der Hochtemperatur-Supraleiter (z.B. YBa,Cu,0,-,)[31 haben Anstrengungen zur Synthese fluchtiger Metallalkoxid-Vorstufen zugenom-Von CVD-Techniken verspricht man sich die Herstellung auch komplexer anorganischer Materialien durch thermische Gasphasenzersetzung fliichtiger (molekularer) Vorstufen[51. Dabei setzt man auf definierte Zersetzungswege und auf die Erhaltung der im Precursormolekul vorgegebenen Metallstochiometrie (,,Einkomponenten-Vorstufen'')[6]. Was oxidische Materialien betrifft, so sucht man einen Ersatz fur die p-Di-[' I Neue Anschrift: ketonato-Metallkomplexe, die zwar zumeist fluchtig sind, aber oft zu erheblichen Kohlenstoffkontaminationen der Abscheidungsprodukte fuhren (oder zu Fluoreinbau irn Falle der fluchtigen fluorierten ~-Diketonato-K~mplexe)[~]. Besonderer Bedarf besteht hier bei den Seltenerdmetallen, die ...