2018
DOI: 10.1109/tla.2018.8804263
|View full text |Cite
|
Sign up to set email alerts
|

Computational Simulation for Square Diaphragms of a Piezoresistive Pressure Sensor

Help me understand this report

Search citation statements

Order By: Relevance

Paper Sections

Select...
2
1
1

Citation Types

0
3
0
1

Year Published

2019
2019
2023
2023

Publication Types

Select...
2
1

Relationship

0
3

Authors

Journals

citations
Cited by 3 publications
(4 citation statements)
references
References 0 publications
0
3
0
1
Order By: Relevance
“…Показано, що потрібно враховувати нелінійну динаміку осцилятора, що дозволяє здійснювати більш точні розрахунки реальної частоти коливань та її зміни в залежності від маси та умов застосування. В [10] показано застосування пакета ANSYS для моделювання параметрів п'єзоелектричного елементу, показано, що параметрів, що моделюються похибка складає не більше 14 відсотків у порівнянні з аналітичними методами. В [11] представлено комп'ютерну програму для моделювання поведінки кварцових кристалічних генераторів.…”
Section: прикладне програмне забезпечення для моделювання параметрів ...unclassified
“…Показано, що потрібно враховувати нелінійну динаміку осцилятора, що дозволяє здійснювати більш точні розрахунки реальної частоти коливань та її зміни в залежності від маси та умов застосування. В [10] показано застосування пакета ANSYS для моделювання параметрів п'єзоелектричного елементу, показано, що параметрів, що моделюються похибка складає не більше 14 відсотків у порівнянні з аналітичними методами. В [11] представлено комп'ютерну програму для моделювання поведінки кварцових кристалічних генераторів.…”
Section: прикладне програмне забезпечення для моделювання параметрів ...unclassified
“…Table 3 lists the properties of A4 paper used in the manufacture of substrates for piezoresistive sensing elements. 1.42E-04 m 3 2.80E-04 m 4 3.59E-04 m 5 3.92E-04 m 6 4.09E-04 m 7 4.48E-04 m 8 6.39E-04 m 9 8.34E-04 m 10 1.23E-03…”
Section: Physical Propertiesmentioning
confidence: 99%
“…Table 3 lists the properties of A4 paper used in the manufacture of substrates for piezoresistive sensing elements. 0.00555 m 0.0001 m r 3 0.00625 m 0.0001 m r 4 0.00714 m 0.0001 m r 5 0.00833 m 0.0001 m r 6 0.01 m 0.0001 m Table 4 Mass applied to generate a pressure. Symbol Mass (kg) m 1 1.04E-04 m 2 1.42E-04 m 3 2.80E-04 m 4 3.59E-04 m 5 3.92E-04 m 6 4.09E-04 m 7 4.48E-04 m 8 6.39E-04 m 9 8.34E-04 m 10 1.23E-03…”
Section: Physical Propertiesmentioning
confidence: 99%
“…During the last 20 years piezoresistive pressure sensors have been widely studied and are considered the most popular of MEMS (micro-electro-mechanical system) structure devices. These electronic devices are manufactured with square, rectangular or circular diaphragms [1][2][3]. Pressure sensors are used in industrial process control, environmental monitoring, audio microphone structures, biomedical systems, and other applications.…”
Section: Introduction mentioning
confidence: 99%