Computer simulation of nanoporous alumina microcantilevers and the study of the influence of porosity on the elastic moduli of oxide

Симонов, В. Н.; Matison, N. L.; Boitsova, O. V.; Красильникова, О. К.

doi:10.1134/s1995078015030167

Cited by 3 publications

(1 citation statement)

References 4 publications

Supporting

Mentioning

Contrasting

Unclassified

Order By: Relevance

“…Оказалось, что влияние пористости можно описать введением соответствующих поправок в модули упругости и плотность АОА, т.е. использовать их эффективные значения [13]. Описанный подход В.Н.…”

Section: конечно-элементное моделирование мкunclassified

Моделирование Колебаний Нанопористых Микрокантилеверов Из Анодного Оксида Алюминия Для Биохимических Сенсоров

Симонов¹,

Matison²,

Boitsova³

et al. 2020

Матем. моделирование

View full text Add to dashboard Cite

Описаны результаты исследования колебаний микрокантилеверов (МК), выполненных из нанопористого анодного оксида алюминия и составляющих основу биохимических сенсоров. Конечно-элементное моделирование колебаний МК выявило источники появления в частотном спектре резонансов, не соответствующих колебаниям кантилевера и осложняющих разработку сенсоров. Впервые показано, что такими источниками являются резонансы колебаний основания МК на упругом слое компаунда, используемого для присоединения основания к подложке. Получены приблизительные соотношения между параметрами МК, основания и компаундного слоя, обеспечивающие присутствие в спектре только рабочих мод колебаний МК. Для обеспечения чистого спектра необходимо соблюдение одного из двух условий или их сочетания: достаточно жесткого крепления МК к подложке и достаточно малых размеров основания. Обеспечение чистого спектра достигается безотносительно к жесткости крепления МК, если длина основания не превышает: для 3-й, 4-й и 5-й гармоник рабочей моды МК соответственно 0.6, 0.43 и 0.33 длины МК.

show abstract

Section: конечно-элементное моделирование мкunclassified