“…Пучковая плазма, формируемая электронными пучками, обладает свойствами, которые делают ее эффективным инструментом для решения различных научных и технологических задач, связанных с плазмохимическими процессами [9,10], обработкой (травление, активация и др.) поверхности материалов и изделий [11][12][13], формированием защитных и функциональных покрытий [14,15], синтезом наночастиц [16] и рядом других применений [17,18]. Также при использовании химически активных газов применение электронного пучка для формирования плазмы может позволить избежать проблем, связанных с отравлением электродов " обычных" газоразрядных систем продуктами взаимодействия материала электродов с плазмой.…”