Исследовано строение и физические свойства аморфных пленок SiOx , полученных химическим травлением аморфного ленточного сплава на основе железа. Нейтронная дифракция, а также атомно-силовая и элек-тронная микроскопия показали, что полученные визуально прозрачные пленки имеют аморфную структуру, обладают диэлектрическими свойствами, их морфология схожа с морфологией опалов. Образцы до и после их термической обработки были исследованы методами дифференциально-сканирующей калориметрии, рамановской и ИК-спектроскопии. Установлено, что отжиг пленок в воздушной среде при температуре 1273 K приводит к изменению их химического состава: образуется аморфное соединение SiO 2 с включениями нанокристаллов SiO 2 (кристобалит).Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант № 15-01-04553-a).