2011
DOI: 10.1109/tasc.2010.2091931
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Deposition of YBCO Thin Film by Aerosol Assisted Spray Pyrolysis Using Nitrates

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“…결정의 상태는 프 리커서의 종류, 증착온도, 노즐과 서브스트레이트 사이의 거리, 분무 량, 촉매의 유무 등의 인자에 의해서 정해지며, 이를 통해 박막의 광 투과율이나 표면 저항, 헤이즈(haze) 특성이 달라진다. 일반적으로 분무 열분해 증착은 에어로졸(aerosol)을 이용하는 방식 [5] 과 초음파 분무장치(ultrasonic atomizer)를 이용하는 방식 [6] 이 있다. 액적의 크기는 더 줄어들게 된다 [7] .…”
Section: 서 론unclassified
“…결정의 상태는 프 리커서의 종류, 증착온도, 노즐과 서브스트레이트 사이의 거리, 분무 량, 촉매의 유무 등의 인자에 의해서 정해지며, 이를 통해 박막의 광 투과율이나 표면 저항, 헤이즈(haze) 특성이 달라진다. 일반적으로 분무 열분해 증착은 에어로졸(aerosol)을 이용하는 방식 [5] 과 초음파 분무장치(ultrasonic atomizer)를 이용하는 방식 [6] 이 있다. 액적의 크기는 더 줄어들게 된다 [7] .…”
Section: 서 론unclassified
“…Функциональные материалы, в том числе пасты для 3D-печати сверхпроводящих деталей, для создания компонент электроники и электроэнергетики получают [5][6][7][8][9][10][11][12][13][14][15] в виде тонких пленок и покрытий, микро-и нанокристаллических керамик, текстурированных образцов и монокристаллов. В свою очередь тонкие пленки и покрытия получают осаждением из растворов или распылением керамических мишеней.…”
Section: Introductionunclassified
“…It is a fast, low cost and nonvacuum technique that is used for deposition of precursors for the phase formation of many materials, including oxides, ceramics and glasses [5][6][7][8][9][10][11][12][13][14] at a high temperature and deposition rate. This technique currently offers a very promising alternative for the development of coated conductors and has been investigated by the Grenoble group (Vergnières et al 15,16 and Odier et al 17 ) and by Kim et al, 18 as an alternative to vacuum based technologies for the deposition of YBCO on biaxially textured substrates. Kawai et al 19 reported the first deposition of Y-123 on SrTiO 3 and YSZ substrates by spray pyrolysis soon after the discovery of YBCO.…”
Section: Introductionmentioning
confidence: 99%