Determining Optical Characteristics of Plane-Parallel Systems Using Spectrometry

Abstract

Рассмотрены результаты экспериментов по определению показателей преломления и толщин наноразмерных слоев тонкопленочных покрытий из диоксидов кремния и титана, нанесенных на стеклянную подложку. Проведен теоретический анализ и численные эксперименты моделирования процесса взаимодействия лазерного монохроматического излучения с системой плоскопараллельных прозрачных пленок. Разработана система рекуррентных соотношений для определения показателя преломления и толщины слоев наноразмерных пленок. Результаты исследований сравниваются с результатами численного моделирования параметров системы плоскопараллельных пленок по известным методам Абеле и Скандоне-Баллерини. Ключевые слова: плоскопараллельные системы, тонкопленочные покрытия, отражение, преломление, поглощение, рекуррентные соотношения.