Berpikir kritis tidak hanya dapat dikembangkan melalui proses pembelajaran tetapi juga dapat ditingkatkan memalui alat evaluasi yant tepat, sehingga peneliti mengembangkan instrumen three-tier berbantu google form untuk dapat mengukur ketrampilan berpikir kritis peserta didik pada materi stoikiometri. Metode penelitian yang digunakan adalah Research and Development (RD) model tipe formative research Tessmer. Subjek penelitian ini adalah peserta didik kelas XI IPA SMA Negeri 1 Karanganyar Teknik pengumpulan data meliputi wawancara, tes, angket, dan dokumentasi. Teknik analisis data: validasi ahli, analisis soal (validitas, reliabilitas, tingkat kesukaran, dan daya beda), analisis profil berpikir kritis, analisis angket respons peserta didik. Hasil menunjukan: validasi ahli 96,75%, validitas butir soal 0,7, reliabilitas 0,89, tingkat kesukaran sedang, dan memiliki daya pembeda yang baik, serta respon positif 76% terhadap instrumen tes. Hasil ketercapaian berpikir kritis peserta didik pada materi stoikiometri yaitu sebanyak 17% dengan kategori sangat kurang. Berdasarkan hasil yang diperoleh instrumen memiliki karakteristik yang baik, maka instrumen tes three-tier multiple choice berbantu google form layak digunakan untuk mengukur keterampilan berpikir kritis.