2020
DOI: 10.1016/j.diamond.2020.107818
|View full text |Cite
|
Sign up to set email alerts
|

Diamond-like/graphite-like carbon composite films deposited by high-power impulse magnetron sputtering

Help me understand this report

Search citation statements

Order By: Relevance

Paper Sections

Select...
1

Citation Types

0
0
0
1

Year Published

2021
2021
2024
2024

Publication Types

Select...
6

Relationship

0
6

Authors

Journals

citations
Cited by 14 publications
(1 citation statement)
references
References 35 publications
0
0
0
1
Order By: Relevance
“…Степенью гибридизации углерода в пленках можно управлять, меняя условия осаждения. В частности, в работе [5] показано, что увеличение доли Ne в составе распыляющего газа при импульсном магнетронном напылении композитных пленок DLC приводит к увеличению доли sp 3 -фракции углерода, наряду с увеличением твердости и износостойкости полученных покрытий. В работе [6] при получении негидрированного алмазоподобного углерода варьировалось напряжение смещения в процессе напыления.…”
Section: Introductionunclassified
“…Степенью гибридизации углерода в пленках можно управлять, меняя условия осаждения. В частности, в работе [5] показано, что увеличение доли Ne в составе распыляющего газа при импульсном магнетронном напылении композитных пленок DLC приводит к увеличению доли sp 3 -фракции углерода, наряду с увеличением твердости и износостойкости полученных покрытий. В работе [6] при получении негидрированного алмазоподобного углерода варьировалось напряжение смещения в процессе напыления.…”
Section: Introductionunclassified