Mit der auflerordentlich raschen Verbreitung der Elektronenstrahl-Mikroanalyse in der Festkorperchemie zur quantitativen, zerstorungsfreien Erfassung der ortlichen Elementverteilung im Bereich von Mikrometern ist die Reihe der bisher nachweisbaren Elemente auch auf die leichten Elemente Fluor bis Beryllium ausgedehnt worden. In vorliegendem Fortschrittsbericht sollen diejenigen Gesichtspunkte der Mikroanalyse leichter Elemente kritisch untersucht werden, die sich gegeniiber denen bei schweren Elementen unterscheiden. Dazu wird ein kurzgefaflter Uberblick zur Gerateausriistung, den Meflbedingungen, allgemeinen Proben-Anforderungen und atomphysikalischen Daten der zu analysierenden Elemente gegeben. Auf die Forschungsergebnisse iiber den Einflufl der Kontamination, der Energielage und Intensitat der weichen Rontgen-Linien, der Porositiit und elektrischen Leitfahigkeit der Proben sowie auf die Frage des Standards wird hingewiesen. Die zu untersuchenden Proben von oft weniger als 1 mm Kantenlange werden zunachst in Epoxid-Harz zum Zwecke des Schleifens und Polierens (Diamant-Paste, Kornung 0,25 pm) eingebettet und hernach in der elektrisch besser leitenden Wood-Legierung prapariert.:P Prof. Dr. E . Fitter und Univ.-Doz. Dr.