Edge emitting quantum cascade microlasers on InP with deeply etched one-dimensional photonic crystals

Abstract

Edge emitting quantum cascade microlasers based on InP have been fabricated and investigated. Deeply etched Bragg mirrors have been manufactured at the end of the resonators, to reduce the mirror losses of short cavity devices. In order to achieve the required high aspect ratio, an optimized plasma dry etching process has been developed, which allows monolithic device fabrication in a single dry etching step. The short resonator length results in a large Fabry-Pérot mode spacing, which leads to a single mode operation. A side mode suppression ratio of about 20dB at 80K has been observed.

Квантово-Каскадные Лазеры С Распределенным Брэгговским Отражателем, Сформированным Методом Ионно-Лучевого Травления

“…Конструкция внешнего резонатора дала возможность реализовать перестройку длины волны излучения в широком диапазоне [2]. Альтернативные подходы по селекции оптических мод высшего порядка основаны на использовании фотонных кристаллов [3], интерферометров Маха-Цендера, кольцевых [4], связанных [5,6], а также монолитно связанных резонаторов [7][8][9].…”

Одночастотная Генерация Арочных Квантово-Каскадных Лазеров При Комнатной Температуре

“…Альтернативные подходы к формированию одночастотных ККЛ основаны на применении фотонных кристаллов [4], кольцевых резонаторов [3], связанных резонаторов [5], асимметричных интерферометров Маха−Цендера [6]. Результаты по формированию лазерных резонаторов сложной формы, в том числе арочных квантово-каскадных лазеров, состоящих из линейных и полукольцевых участков, представлены в работах [7][8][9].…”

Metal slab waveguide reflector design for high reflection mirrors on very compact waveguides

“…Such facets should also have very high reflectivity to keep mirror loss low enabling very compact lasers and resonators. Existing techniques include etched facets [1] deeply etched semiconductor/air distributed Bragg reflectors (DBR) [2] and gold coated facets [3]. Facets made by etching do not have high reflectivity needed for compact lasers and resonators.…”