Effect of Material Inhomogeneity on the Image Quality of Optical Systems with Extremely Small Aberration

Analysis of Influence Factors of Thermal Aberrations Based on the Small Lens System

“…激光与光电子学进展 www.opticsjournal.net 092204-会 导 致 光 学 设 计 系 统 产 生 一 定 的 热 光 学 误 差 ， 表 现 为 波 像 差 ， 畸 变 劣 化 ， 进 而 降 低 成 像 质 量 ， 影 响 系 统 分 辨 率。合理的光机热集成分析能够综合评估光学系统， 改进系统设计， 提高系统的光学性能， 避免单一分析造 成的设计缺陷。 设 计 阶 段 充 分 考 虑 温 度 变 化 导 致 的 像 质 劣 化 ， 并 采 用 相 应 的 补 偿 措 施 ， 在 光 机 热 集 成 设 计 中 得 到 了 广 泛的应用 [4][5][6][7][8][9][10] 。陈华等 [11] 分析了物镜系统的热变形、 温度致折射率变化、 应力双折射等几种因素对光学系统 像质的贡献； Nakashima 等 [2] 则针对投影物镜的热像差问题， 采用可动镜片结合红外热补偿技术(IAC)， 实现 了不同照明模式及掩模下的热像差补偿； Scott Halle 等 [3] 则在光刻机上采用一种新的热像差补偿元件， 使得 Zernike 像差的补偿能够延伸至 64 项。但是上述分析都是从整体上考虑系统的热光学性能， 并没有从具体 的结构细节与环境扰动等因素思考， 对实际的结构设计及环境约束并不能起到较为明确的指导意义。 本文从光刻投影物镜工程实用角度出发， 以小物镜系统为例， 对光机结构的激光热源的强度、 支撑结构 [12][13] 。 极坐标下， 其表达式为 [14] z…”