Effect of the Tensosensitivity in Metal Film Materials

Abstract

В огляді здійснено аналізу відомих літературних даних про явище тензое-фекту в тонких і товстих плівках металів, стопів або композиційних мате-ріялів з металевою основою. Розглянуто відомі напівклясичні та феноме-нологічні моделі для одно-і багатошарових плівкових систем, наведено ре-зультати їх апробації і вказано ступінь відповідности розрахункових і екс-периментальних результатів. Зроблено висновок про значну роль так нази-ваних деформаційних ефектів, врахування яких дає хороше узгодження з експериментальними даними. Проаналізовано найменш вивчене питання фізики тонких плівок про температурну залежність коефіцієнтів поздовж-ньої та поперечної тензочутливости. Наведено численні експериментальні результати, які підтверджують теоретичні висновки. Проаналізовано ріж-ні аспекти практичного застосування плівкових матеріялів як чутливих елементів тензодавачів.The analysis of literature results concerning tensoresistive effect in thin and thick films of metals, alloys or composite materials based on a metal is presented. Well-known semi-classical and phenomenological models for one-and multilayered film systems are considered, results of their testing are presented, and the degree of conformity of calculated results with experimental ones is specified. A conclusion is drawn concerning significant role of deformation effects, which are taken into account to give satisfactory conformity with experimental data. A least studied problem in physics of thin films concerning the temperature dependence of coefficients of longitudinal and transverse tensosensitivity is analysed. Numerous experimental results, which confirm theoretical conclusions, are presented. Different aspects of practical application of film materials as sensitive elements of strain sensors are analysed.В обзоре проведен анализ известных литературных данных по тензоэффек-ту в тонких и толстых пленках металлов, сплавов или композиционных материалов с металлической основой. Рассмотрены известные полукласси-ческие и феноменологические модели для одно-и многослойных пленоч-ных систем, приведены результаты их апробации и указана степень соот-