“…Спо-собы оптимизации процесса диффузии рассматриваются с точки зрения разных источников цинка (например, Ga−Zn) [4], роли окислов на поверхности перед про-цессом диффузии [5], а также состояния поверхности, в частности ее микрорельефа, который, по мнению авторов, может улучшать параметры приборов на основе этих структур [6].…”