Zusammenfassung. Mit Hilfe von Mehrstrahlinterferenzen lassensich die H6henAz kleiner Spiegelstufen bestimmen, die wesentlich kleiner als A/2 sein k6nnen (Tolansky u. a.). Jedoch wird eine h6here Tiefenaufl6sung (Az) nur auf Kosten einer geringeren Lateralaufl6sung (Ax) erreicht und umgekehrt (Ingelstam 1953). Experimente mit einem cm-Wellen-Interferometer und anschlieBende Betrachtungen zeigen, da/3 eine solche Aufl6sungsbeschr~inkung durch Beugungseffekte innerhalb der dreidimensional ausgedehnten Interferenzobjekte bedingt ist. Quantitative Betrachtungen liefern als Bedingung : Ax 2 . Az > q, (A/2) 3. (Dabei ist q die durch den Spiegelabstand b =q. A/2 gegebene Ordnungszahl der Interferenz.) Diese Beziehung wird sowohl durch Messungen mit cm-Wellen, als auch durch Beobachtung mit Mehrstrahlinterferenz-Mikroskopen best~itigt.