Рассматривается процесс модификации свойств диффузионных слоев на основе бора и алюминия на поверхности инструментальных штамповых сталей 3Х2В8Ф и 5ХНМ импульсной электронно-пучковой обработкой с использованием источника электронов с плазменным катодом на основе дугового разряда низкого давления. В результате обработки диффузионных слоев, максимальная микротвердость на поверхности стали 5ХНМ повышается с 800 HV до 1400 HV, на стали 3Х2В8Ф наоборот снижае тся с 1900 HV до 1700 HV.