Electron cyclotron resonances in a radiofrequency ion source

Surface Plasma Sources with Helicon Plasma Generators

“…In previous investigations of RF ion sources, it was observed [11,12] that in an RF field with frequency, f, the dependence of the plasma density on magnetic field has a resonant peak at a magnetic field B res \\ = 4 B c for the magnetic field parallel to the RF coil axis, and at B res ± ~ 2 B c for magnetic field perpendicular RF coil axis. Here B c = 2 nf(mc/e) is magnetic field of cyclotron resonance for electrons.…”

Étude d'une résonance dans une décharge en haute fréquence dans l'hydrogène en présence d'un champ magnétique statique

“…Ce type de couplage engendre donc une distribution du champ électromagnétique plus simple que dans le cas du couplage inductif. [20] : veo = 1,59 x 109 p. La pression interviendra donc dans l'expression de la conductivité J du plasma, on a en effet : [6] a également obtenu une résonance pour fc ~ 2 f dans l'hélium. En conclusion des résultats des expériences faisant intervenir la fréquence d'excitation f et la nature du gaz, il semble logique de penser que ce sont les électrons du plasma qui sont à l'origine du phénomène de résonance.…”

“…De nombreux auteurs l'obser-vèrent également : J. Swingle et C. Swann [4], M. Gabovich [5], 1. Ogawa et N. Abe [6], J. Williams [7].…”