Исследовано влияние концентрации δ-легирования кремнием на электронные транспортные свойства псевдоморфных квантовых ям Al 0.25 Ga 0.75 As/In 0.2 Ga 0.8 As/GaAs в широком интервале температур 4.2−300 K. Обнаружено снижение эффективности легирования при концентрации электронов > 1.8 · 10 12 см −2 , обус-ловленное эффектами неполной ионизации примеси, что отражается также на температурной зависимости концентрации электронов. Наблюдается немонотонное изменение подвижности электронов с ростом концентрации доноров, не связанное с заполнением верхней подзоны размерного квантования. Возрастание подвижности связано с ростом импульса Ферми и экранированием, а последующий еe спад при увеличении концентрации кремния обусловлен туннельной деградацией спейсерного слоя при понижении потенциала зоны проводимости в области δ-слоя Si.
ВведениеOдними из наиболее распространeнных промышлен-но выпускаемых гетероструктур для СВЧ транзисто-ров сегодня остаются PHEMT-структуры с квантовой ямой (КЯ) AlGaAs/InGaAs/AlGaAs благодаря сочетанию технологичности и высоких параметров электронного транспорта. С другой стороны, в отличие от НЕМТ (high electron mobility transistor) с КЯ AlGaAs/GaAs практика прикладного использования РНЕМТ (phseudomorphic high electron mobility transistor) опережает развитие фундаментального базиса описания электронных про-цессов при высокой холловской электронной плотно-сти n H > 1.5 · 10 12 см −2 . Проводимость двумерного элек-тронного газа в КЯ является одной из практически значимых величин. Повышение проводимости и плот-ности тока в таких системах определяется зависимо-стью холловской подвижности µ H от концентрации n H двумерного электронного газа (ДЭГ) в канале InGaAs. Концентрация электронов в КЯ РНЕМТ традиционно увеличивается за счет сильного донорного легирова-ния, в том числе перехода от одностороннего к дву-стороннему δ-легированию в КЯ. При этом уже при n H ≈ (1.5−2.5) · 10 12 см −2 в КЯ типичных односторонне легированных РНЕМТ начинается заполнение второй подзоны размерного квантования [1], а эффекты куло-новского взаимодействия электронов приводят к зна-чительным изменениям поперечного зонного профиля в структуре. Это в свою очередь изменяет структуру электронных состояний и условия рассеяния электронов.Анализ существующих работ показывает неоднознач-ность наблюдаемой в КЯ РНЕМТ с одним δ-слоем зависимости подвижности электронов от концентрации легирования. Так, в области малых концентраций до-норов (n H < 10 12 см −2 ) во всех работах отмечалась возрастающая зависимость µ H (n H ) [2-4], выходящая на насыщение. В работе [2] это объясняется рассеянием носителей заряда на легирующих примесях. В рабо-те [3] концентрация электронов увеличивалась за счeт подсветки, и было показано, что для слабого легирова-ния, N D < 5 · 10 11 см −2 , также преобладает рассеяние на ионизованных примесях.Убывание подвижности ДЭГ при высоких значениях n H наблюдалось в работах [5][6][7]. При низких темпера-турах снижение подвижности тоже объясняется рассе-янием на удалeнных ионизованных примесях, а также заполнением след...