Elektrostatisch stabilisierte Dispersionen (DLVO-Theorie)

Kolloidchemische und grenzflächenphysikalische Aspekte bei der Entwicklung von Kupfer‐CMP‐Slurries

“…Das Sternpotenzial w d wurde durch das experimentell ermittelte Zeta-Potenzial angenähert. Die Hamaker-Konstante A beträgt in wässrigen Silica-Dispersionen A 6,5 Á 10 ±20 J [12]. …”

“…Entsprechend sind die Anforderungen an die kolloidale Stabilität der Dispersionen hoch, da Agglomerate den gleichen nachteiligen Effekt zeigen würden [2,8,9]. Die Preston-Gleichung beschreibt den komplexen Polierprozess [2]: [11,12].…”

“…Das Sternpotenzial w d wurde durch das experimentell ermittelte Zeta-Potenzial angenähert. Die Hamaker-Konstante A beträgt in wässrigen Silica-Dispersionen A 6,5 Á 10 ±20 J[12]. Ermittlung der kritischen Koagulationskonzentration einer Silica-Dispersion gegen CuCl2 aus Trübungs-und Teilchengröûenmessungen.…”