Energy &amp; mass-charge distribution peculiarities of ion emitted from penning source

Мамедов, Н. В.; Kolodko, D. V.; Sorokin, I. A.; Kanshin, I. A.; Sinelnikov, D. N.

doi:10.1088/1742-6596/830/1/012063

Cited by 9 publications

(2 citation statements)

References 11 publications

Supporting

Mentioning

Contrasting

Unclassified

Order By: Relevance

“…To measure the mass-resolved ion currents, a special device has been built. It consists of an extraction system and a magnetic mass separator [11,12] (see figure 1). The extraction system features an electrically insulated plasma-facing diaphragm attached to the grounded body.…”

Section: Corpuscular Analysismentioning

confidence: 99%

Diagnostics of ion fluxes in low-temperature laboratory and industrial plasmas

et al. 2019

View full text Add to dashboard Cite

A: We studied the ion fluxes on metal surfaces in the inductively coupled plasma reactor as a test facility. The gas mixture of argon and nitrogen was used, with 0.44 Pa total pressure. The radiofrequency power was varied in a wide range (250-2000 W). The ion fluxes were sampled in situ using a specially designed electrostatic extractor and then analyzed with a custom-built magnetic sector mass-separator. The gas composition was independently monitored by the quadrupole analyzer. All measurements were accompanied by optical emission spectroscopy (OES). The correlations of measured optical and corpuscular data are discussed. The conversion function linking optical and corpuscular intensities for Ar/N 2 radiofrequency discharge was determined.

show abstract

Section: Corpuscular Analysismentioning

confidence: 99%

Diagnostics of ion fluxes in low-temperature laboratory and industrial plasmas

et al. 2019

View full text Add to dashboard Cite

show abstract

“…На рис. 2 представлен высоковакуумный стенд для проведения экспериментов по измерению основных параметров ионного пучка [20]. Для регистрации энергетических спектров использовался четвертьсферический электростатический дефлектор с энергетическим разрешением от 0.8 до 1.5%.…”

Section: экспериментальное оборудованиеunclassified

Разрядные Характеристики Плазменного Источника Пеннинга

Мамедов¹,

Щитов²,

Колодко³

et al. 2018

Журнал Технической Физики

View full text Add to dashboard Cite

Представлены результаты исследований разрядных характеристик плазменного источника Пеннинга. Измерены вольт-амперные характеристики (ВАХ), энергетическое распределение и масс-зарядовый состав ионов, эмитируемых из разряда при различных режимах его горения. Установлена связь между всплесками тока разряда и увеличением провисания потенциала (до 50% от напряжения на аноде). Измеренные ВАХ хорошо согласуются с теоретическими зависимостями. Показано, что содержание атомарных ионов водорода повышается с 5 до 10% при увеличении анодного напряжения от 1 до 3.5 kV и вкладываемой в разряд мощности (от 0.2 до 3 W).

show abstract