Explosive Crystallization of Films of Amorphous Cobalt on a Sublayer of Carbon

Abstract

Методами просвечивающей электронной микроскопии, электронной ди-фракции, малоугловой рентгеновской дифракции и вторичной ионной масс-спектрометрии исследован механизм взрывной кристаллизации аморфных плёнок кобальта, выращенных на аморфном углероде методом магнетронного (на постоянном токе) распыления. Установлено, что рабо-тающий С-магнетрон во время осаждения слоя кобальта, а также умень-