“…Also, they are compatible with microelectromechanical systems (MEMS) technologies (Ali and Prasad, 2020). To date, a large number of studies on SAW sensors have been carried out to achieve a wide variety of functions to measure physical/mechanical (Hribšek et al, 2010;Tang et al, 2022;Wang et al, 2020;Yu, 2018;Tang et al, 2015;Kim et al, 2019;Tang et al, 2020aTang et al, , 2020bGamba et al, 2014, Zhao et al, 2022aTang et al, 2021;Li et al, 2020aLi et al, , 2020bLü et al, 2014;Tang et al, 2018a;Feng et al, 2019;Fan et al, 2022;Tang et al, 2018b;Pan et al, 2021;Memon et al, 2021;Müller et al, 2015;Tang et al, 2017;Li et al, 2019;Yang et al, 2023), chemical (Zhang et al, 2020;Kumar and Prajesh, 2022;Abraham et al, 2019;Afzal et al, 2013;Gao et al, 2018;Pasupuleti et al, 2022a;Kus et al, 2021;Vanotti et al, 2021;Pasupuleti et al, 2021;Pasupuleti et al, 2022b;Zhu et al, 2021aZhu et al, , 2021bWang et al, 2022aWang et al, , 2022bWang et al, , 2022c…”