“…Перечисленные достоинства говорят об эффективности применения модуляции электрических параметров при различных плазменных технологиях. В то же время, возникает необходимость научного обоснования эффективности использования модуляции электрических параметров [6].…”
The article discusses methods for pulse modulation of electrical parameters during plasma sputtering. The advantages and disadvantages of modulation are considered.
“…Перечисленные достоинства говорят об эффективности применения модуляции электрических параметров при различных плазменных технологиях. В то же время, возникает необходимость научного обоснования эффективности использования модуляции электрических параметров [6].…”
The article discusses methods for pulse modulation of electrical parameters during plasma sputtering. The advantages and disadvantages of modulation are considered.
scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.