Изучено влияние энергии лазерного импульса E на возможность формирования однородной " высокотемпературной" ферромагнитной фазы в пленках сплава Mnx Si 1−x (x ≈ 0.5), выращенных методом импульсного лазерного осаждения на подложке Al 2 O 3 (0001). Показано, что высокотемпературная фаза с концентрацией марганца x ≈ 0.53 и температурой Кюри TC ∼ 200−300 K образуется вблизи подложки на начальной стадии роста пленок. При этом, большие величины E ≥ 6.8 J/cm 2 способствуют стабилизации этой фазы по всей толщине пленки, в то время как малые значения E = 2.6−5.7 J/cm 2 приводят к уменьшению концентрации марганца в верхнем слое пленки и формированию дополнительной " низкотемпературной" фазы с TC ≈ 30−50 K, обусловленной кристаллитами силицидов MnSi и Mn 4 Si7.