Festkörperzerstäubung durch Ionenbeschuß

Abstract

Abb, 1. Bedingungen ffir reproduzierbare Zerst~ubungsmessungen. Auf den eingezeiehnete~x seh~igea Geraden ist die An~ahl der auftreffenden Ionen gleieh der Anzahl der auftreffenden Restgasteilchen. Messungev. an sauberen Oberltfichen mfissen im selara~fierten Bereieh I liegen. Die me/sten Messungen wurdeu im Bereich II ausgeft~hrt, da jedoch noch die Zerst~ubungsrate S berficksichtigt werdert mu$, waren die Versuchsbedingungen oft gfinstiger, als es in diesem Diagramm erscheint (378), T. W. SNOWS u. a. (256)]. Besonders Oxydschichten k6nnen die Zerst~iubungsrate wesentlich verringern, worauf z. B. die off beobachfete schwache Zerst~ubung von Aluminium und Titan zufiickzuffihren ist [A. GUNTHERSCHULZE (93), G. K. WEHNER (300)].

Electron Ejection from Solids by Atomic Particles with Kinetic Energy

“…The same process takes place, if the bombarding particle penetrates into adsorbed layers. (Sputtering ; see BEHRISCH [39]).…”

Physical Sputtering: A Discussion of Experiment and Theory

“…The basic quantity of interest is the function G(x,v0>v,t)d 3 v0dx which is the average number of atoms moving at time t in a layer (x,dx) with a velocity (v0,d 3 …”

“…is the total number of atoms which penetrate the plane χ with a velocity (v0,dvo 3 ) during the development of the collision cascade. F(x,v0,v) satisfies an equation that follows from integration of Equation 13 over t, i.e.…”

Ion and fast neutral bombardment of surfaces in controlled fusion devices

“…[5][6][7][8] we estimate sputtering yields on iron-nickel-chromium alloys in · the.energy range 1 keV to 10 keV to be 0.03 for D, 0.04 for T, 0.3 for He, and 2.0 for Ar. These values are expected to be good to better than an order of magnitude· and, in fact, the value obtained this way falls within a factor of two of the experimental data in Fig.…”