FORMATION OF NANOPOROUS Al2O3 FILMS

Abstract

Анотація. В даній роботі наведені результати отримання пористих плівок Al 2 O 3 в розчинах щавлевої та ортофосфорної кислот. Були отримані експериментальні зразки пористих плівок Al 2 O 3 з алюмінієвих шарів товщиною менше 2 мкм лише в певному розчині щавлевої кислоти. Отримані пористі плівки Al 2 O 3 мають наступні геометричні параметри: діаметр пор від 20 до 35 нм, відстань між порами від 70 до 150 нм в залежності від напруги анодування. Однак матриця пор плівки Al 2 O 3 є не повністю впорядкованою і області впорядкування спостерігаються лише на невеликих площах. Ключові слова: нанопористі плівки Al 2 O 3 , нанотехнологія, анодування, самоорганізація, щавелева та ортофосфорна кислоти