“…耗低和热导率高等优异特性, 是一种理想的微波介 电材料。为了实现金刚石膜在微波电真空器件领域 中的应用, 对金刚石膜的微波介电性能开展系统的 测试研究十分必要。 虽然人们已经发展了多种材料微波介电性能测 试方法, 但对于金刚石膜而言, 其微波损耗低和厚 度薄的特点使其微波介电性能的准确测量有一定难 度。目前, 国际上有关金刚石膜介电性能测试结果 的报道很少, 并且多以金刚石膜应用于核聚变堆高 功率回旋管微波窗口为背景展开的, 因而测试的频 率集中在 140~170 GHz 范围内 [3][4][5][6][7][8][9][10] 。而国内关于金 刚石膜微波介电性能的研究更少, 且仅局限于低于 10 GHz 的低频率段 [11][12] 。 对于金刚石膜在毫米波雷 达所使用的重要频段之一的 Ka 波段(27~40 GHz)中 微波介电性能的研究尚未见到报道。 在众多的介电性能测试方法中, 谐振腔法是低 损耗样品的介电性能最为准确的测试方法。而谐振 腔法又分为很多种, 如分体圆柱式谐振腔法、分体 介质柱式谐振腔法、平行板介质柱式谐振腔法和回 音壁式谐振腔法等, 其中, 由 Janezic 等 [13] 提出的分 体圆柱式谐振腔法适用于低损耗和厚度较小的薄膜 类样品。针对目前金刚石膜微波介电性能测试的困 难及其在 Ka 波段介电性能测试数据的空缺, 本工 作尝试建立一套分体圆柱谐振腔式材料微波介电性 能测试装置, 并将其应用于高品质金刚石膜样品在 Ka 波段的微波介电性能测量。…”