Впервые выполнено детальное моделирование деградации, вызываемой горячими носителями, основанное на самосогласованном рассмотрении транспорта носителей и генерации дефектов на границе раздела SiO 2 /Si. Данная модель апробирована с использованием деградационных данных, полученных в декананометровых n-канальных полевых транзисторах. Показано, что взаимное влияние двух указанных аспектов велико и их независимое моделирование влечет серьезные количественные ошибки. При вычислении функций распределения носителей по энергии учитывалась реальная зонная структура кремния и такие механизмы, как ударная ионизация, рассеяние на ионизованной примеси, а также электрон-фононные и электрон-электронные взаимодействия. На микроскопическом уровне генерация дефектов рассматривалась как су-перпозиция одночастичного и многочастичного механизмов разрыва связи Si−H. Очень важным прикладным аспектом данной работы является тот факт, что наша модель позволяет надежно оценивать ресурс работы транзистора, подверженного воздействию горячих носителей.
ВведениеНа границе раздела диэлектрик/кремний полевого МДП транзистора (МДП -металл−диэлектрик−полу-проводник) всегда присутствуют поверхностные состоя-ния, которые могут формировать заряженные дефекты. Присутствие подобных дефектов приводит к локальным искажениям электростатики прибора, что проявляется, например, в сдвиге порогового напряжения полевого транзистора. Они также влияют на перенос электронов в приграничном индуцированном канале.Поверхностная концентрация ловушек (N it ) может меняться со временем в зависимости от условий ис-пользования транзистора. При этом эволюция плотно-сти N it определяет эволюцию (деградацию) характе-ристик прибора. Обычно в экспериментах по дегра-дации используются более высокие (по сравнению с рабочими) напряжения и температуры. Основная при-кладная задача заключается в прогнозировании ресурса прибора именно в рабочем режиме. Проблема состо-ит в том, что при переходе от " жестких" условий воздействия на прибор к более " мягким" рабочим на-пряжениям физические механизмы, ответственные за разрушение транзистора, могут полностью изменить-ся [1-3], тем самым делая взятую за основу фе-номенологическую/эмпирическую модель несостоятель-ной. Поэтому для адекватного моделирования процес-сов деградации необходимо понимание и точное описа-ние физических механизмов, соответствующих реально-му режиму.В ежегодно публикуемых прогнозах развития элек-тронной промышленности ITRS (International Technology Roadmap for Semiconductors) задача надежности функци-онирования полупроводниковых приборов декларирует-ся как проблема первостепенной важности [4]. При этом основной режим повреждения транзисторов новых поко-лений связан с деградацией подзатворного диэлектрика, вызываемой горячими носителями. Это подтверждается, скажем, недавними исследованиями компании Intel [5,6].Настоящая работа посвящена подробному физическо-му моделированию процессов формирования интерфейс-ных ловушек в МДП структуре, выполняемому сов-местно с моделированием изменений кинетики горячих электронов в тако...