In situbow change of Al-alloy MEMS micromirrors during 248-nm laser irradiation

Abstract

, "In situ bow change of Al-alloy MEMS micromirrors during 248-nm laser irradiation," J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS 15(3), 035502 (2016),

Nonlinear modal interaction between longitudinal and bending vibrations of a beam resonator under periodic thermal loading

“…Так, в работах [8,9] представлены модели микромеханических актуаторов, использующих оптический метод сообщения упругому элементу температурных деформаций. В [10] исследуются вопросы влияния лазерного излучения на деформации поверхности микромеханических зеркал. Одним из важных направлений разработок и исследований в указанной области является лазерная термооптическая генерация колебаний подвижных элементов микроэлектромеханических систем различного назначения (датчики, системы обработки сигналов).…”

“…Таким образом, система уравнений (4), (10) совместно с граничными условиями (3), (7) полностью описывает продольно-изгибные колебания стержня при температурном воздействии.…”

“…Подставляя (11) в ( 4), (10) и (3), (7), отбрасывая символ ∼ и сохраняя обозначения () , () за производными по безразмерной продольной координате и времени, получим уравнения движения в следующей форме:…”