Improving the accuracy of hybrid scanning 3D fiber-optic measuring heads with an acousto-optic feedback sensor for contact and non-contact coordinate measurements of product sizes

Abstract

е. В. ЛеуН А. е. ШАхАнов аО «НпО Лавочкина», Московская область, г. Химки пОВышеНие тОчНОСти гибридНыХ СкаНирующиХ 3D ВОЛОкОННО-ОптичеСкиХ изМеритеЛьНыХ гОЛОВОк С акуСтООптичеСкиМ датчикОМ ОбратНОй СВязи дЛя кОНтактНыХ и беСкОНтактНыХ кООрдиНатНыХ изМереНий разМерОВ издеЛий В статье представлен способ определения упругих деформаций изделия, возникающих при механическом контактировании со сферическим наконечником, позволяющий исключить влияние на результат измерения деформаций материала в виде навалов («pile-up»). Обсуждаются вопросы построения гибридной сканирующей 3D волоконно-оптической измерительной головки (ВОиг) с формированием сканирующих движений лазерного луча в угловом секторе полусферы 180°×180° на основе низкокогерентного интерферометра, пространственного модулятора света в виде оптоволоконного пьезосканера и объектива типа «fishеуе». рассмотрены возможности высокоточных двухкоординатных измерений сканирующего лазерного луча за счет использования акустооптического модулятора в датчике обратной связи ВОиг в качестве пространственно-чувствительного преобразователя. ключевые слова: координатные измерения, измерительная головка, наноиндентирование, навал, низкокогерентный интерферометр, пьезосканер, сверхширокоугольная оптическая система, акустооптический модулятор.