2005
DOI: 10.1016/j.jnucmat.2004.10.133
|View full text |Cite
|
Sign up to set email alerts
|

Increased recombination of CH3 radicals on stainless steel

Help me understand this report

Search citation statements

Order By: Relevance

Paper Sections

Select...
2
1
1
1

Citation Types

0
7
0
2

Year Published

2008
2008
2016
2016

Publication Types

Select...
7

Relationship

0
7

Authors

Journals

citations
Cited by 14 publications
(9 citation statements)
references
References 10 publications
0
7
0
2
Order By: Relevance
“…По достижении определённой температуры скорость травления увеличивается настолько, что может полностью подавить осаждение [17,18]. Таким образом, для каждого состава газовой смеси можно, экстраполировав экспериментальные данные с помощью ли-нейной зависимости до пересечения с осью температур, определить температуру, при которой плёнка имеет скорость роста, равную нулю (так называемая «нулевая скорость роста»).…”
Section: результаты и обсуждениеunclassified
“…По достижении определённой температуры скорость травления увеличивается настолько, что может полностью подавить осаждение [17,18]. Таким образом, для каждого состава газовой смеси можно, экстраполировав экспериментальные данные с помощью ли-нейной зависимости до пересечения с осью температур, определить температуру, при которой плёнка имеет скорость роста, равную нулю (так называемая «нулевая скорость роста»).…”
Section: результаты и обсуждениеunclassified
“…To study the processes of transport, condensation and recombination of hydrocarbon radicals, a cylindrical quartz tube of radius R = 1 cm and length l = 100 cm was used [1,2].…”
Section: Experimental Techniquementioning
confidence: 99%
“…In experiments with pure methane, the approximate composition of mixture flowing out of the RF discharge was as follows: CH 4 , 80 × 10 14 cm −3 ; CH 3 , 0.2 × 10 14 cm −3 ; H 2 , (1−10) × 10 14 cm −3 ; H, 0.03 × 10 14 cm −3 ; C 2 H x , 2 × 10 14 cm −3 ; C 3 H y , 0.3 × 10 14 cm −3 [2]. The total concentration of new hydrocarbons and molecular hydrogen was 4-10% from the methane concentration.…”
Section: Experimental Techniquementioning
confidence: 99%
See 2 more Smart Citations