2014
DOI: 10.18287/1998-6629-2014-0-1(43)-275-286
|View full text |Cite
|
Sign up to set email alerts
|

Influence of subwave details of microrelief on the diffraction pattern of gaussian beams

Abstract: Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королёва (национальный исследовательский университет) 2 Институт систем обработки изображений РАН, г. Самара В статье исследуется влияние на картину дифракции субволновых деталей микрорельефа при двух различных способах травления: позитивном и негативном. Моделирование дифракции однородно-поляризованного излучения, соответствующего как Гауссову пучку, так и вихревой моде Гаусса -Лагер-ра, выполнено методом решения уравнений Максвелла ко… Show more

Help me understand this report

Search citation statements

Order By: Relevance

Paper Sections

Select...

Citation Types

0
0
0

Year Published

2014
2014
2023
2023

Publication Types

Select...
3
1

Relationship

0
4

Authors

Journals

citations
Cited by 4 publications
references
References 16 publications
0
0
0
Order By: Relevance