2021
DOI: 10.1016/j.apsusc.2021.149609
|View full text |Cite
|
Sign up to set email alerts
|

Investigation on laser beam figuring of fused silica using microsecond pulsed CO2 laser radiation

Help me understand this report

Search citation statements

Order By: Relevance

Paper Sections

Select...
2

Citation Types

0
1
0
1

Year Published

2021
2021
2025
2025

Publication Types

Select...
6
1

Relationship

0
7

Authors

Journals

citations
Cited by 27 publications
(2 citation statements)
references
References 50 publications
0
1
0
1
Order By: Relevance
“…Применение лазерных технологий обработки силикатных материалов, основанных на резонансном поглощении излучения СО 2 -лазера, можно отнести к перспективному направлению создания МФ элементов. В ра-боте [6] было продемонстрировано и исследовано три основных режима воздействия СО 2 -лазерного излучения на матрицу SiО 2 -денсификация матрицы, абляция нанометровых слоев за импульс и линейная абляция слоев толщиной более 150 nm за импульс. Таким образом, с физической точки зрения нет преград для реализации МФ элементов с требуемой геометрией.…”
Section: Introductionunclassified
“…Применение лазерных технологий обработки силикатных материалов, основанных на резонансном поглощении излучения СО 2 -лазера, можно отнести к перспективному направлению создания МФ элементов. В ра-боте [6] было продемонстрировано и исследовано три основных режима воздействия СО 2 -лазерного излучения на матрицу SiО 2 -денсификация матрицы, абляция нанометровых слоев за импульс и линейная абляция слоев толщиной более 150 nm за импульс. Таким образом, с физической точки зрения нет преград для реализации МФ элементов с требуемой геометрией.…”
Section: Introductionunclassified
“…The use of laser technologies for the processing of silicate materials, based on the resonant absorption of CO 2 laser radiation a promising direction in the development of MF elements. In the study [6], three main modes of the effect of CO 2 laser radiation on a SiO 2 matrixdensification matrices, ablation of nanometer layers per pulse and linear ablation of layers with a thickness of more than 150 nm per pulse. Thus, from a physical point of view, there are no obstacles to the implementation of MF elements with the required geometry.…”
Section: Introductionmentioning
confidence: 99%