Unter den Metallen sind Aluminium und Duralumin gegen Fluor und trockenen Fluorwasserstoff bis 600 bzw. 700 K beständig. Die Beständigkeit von Nickel und seiner Legierungen, insbesondere Monel, gegen Fluor und Fluorwasserstoff reicht sogar bis etwa 900 bzw. 800 K. Beim Angriff von Fluor auf Nickel‐Chromlegierungen zwischen 1000 und 1300 K tritt auch eine innere Fluorierung ähnlich der inneren Oxidschichtbildung auf.
Die Beständigkeit von Titan in wasserfreiem flüssigem Fluor ist bei niedrigen Temperaturen mit < 0,3 mm · a−1 vergleichbar mit der von Nickel und Monel. In gasförmigem Fluor aber beträgt die Korrosion von Titan bei 377 K nur 0,0082 mm · a−1. Trotz ihrer bedingten Beständigkeit gegen Fluor und Fluorwasserstoff werden reinstes Molybdän und Wolfram wegen ihrer Festigkeit bei hohen Temperaturen in der Raketentechnik beim Antrieb mit Fluor‐Wasserstoff bzw. Fluor‐Hydrazin eingesetzt.
Lanthan‐ und Calciumboride widerstehen Fluor‐Hydrazinflammen zwischen 1400 und 1800 K und sind allen Speziallegierungen weit überlegen. Dieses gilt auch im niedrigeren Temperaturbereich (290–400 K) für die Fluorcarbonharze. Organische Werkstoffe verdrängen immer mehr metallische und nichtmetallische anorganische Werkstoffe.