Mechanisms for fatigue and wear of polysilicon structural thinfilms

Alsem, Daniel Henricus

doi:10.2172/910596

Cited by 1 publication

(1 citation statement)

References 9 publications

Supporting

Mentioning

Contrasting

Order By: Relevance

“…In addition, the etching process by itself removes sharp edges which results in more resistance to initiate cracks and fatigue failure. According to Alsem [104], the fatigue lifetime of polysilicon thin film structures is more than 10 11 cycles when the maximum stress is in 70% of the fracture strength. In this case, the maximum stress reaches less than 20% of the fracture stress and can be interpreted as a safe limit for fatigue failure.…”

Section: Verification Of Performancementioning

confidence: 99%

Design of surface micro-machined inertial MEMS sensor with meta-heuristic topology optimization.

Najafabadi¹

View full text Add to dashboard Cite

Os sistemas microeletromecânicos (MEMS) estão se tornando populares para uma variedade de aplicações devido ao seu pequeno tamanho, baixo custo e bom desempenho. Os dispositivos MEMS são projetados combinando formas simples com base na experiência de casos anteriores. O uso de métodos de projeto matemático, como a Otimização de Topologia (TO), ajuda a encontrar o melhor projeto possível para um aplicativo específico. Em uma aplicação de monitoramento de deslizamentos de terra, acelerômetros MEMS de alta sensibilidade são necessários para prever com precisão a ocorrência de deslizamentos de terra. Mas os métodos TO disponíveis são incapazes de encontrar um projeto com sensibilidade máxima, condição de carregamento variável e sujeito a várias restrições. As restrições são devidas aos limites de fabricação na fabricação de MEMS e aos limites de desempenho do problema físico. O objetivo desta tese é desenvolver um método TO meta-heurístico usando Simulated Annealing (SA) para resolver problemas TO não convexos e multi-restrições sem informação de gradiente. Este TO utiliza fatores de cristalização para melhorar a convergência e reduzir os custos computacionais no TO. O método proposto é validado com problemas de referência na literatura e é usado com sucesso para os acelerômetros TO MEMS. A análise dos parâmetros de otimização neste projeto fornece algumas informações úteis sobre convergência e exclusividade da solução ótima. Os designs otimizados são então comparados aos designs disponíveis para vários parâmetros de desempenho. Além disso, alguns métodos de filtragem e pós-processamento são desenvolvidos para aplicar os limites de fabricação no processo de litografia.

show abstract

Section: Verification Of Performancementioning

confidence: 99%

Design of surface micro-machined inertial MEMS sensor with meta-heuristic topology optimization.

Najafabadi¹

View full text Add to dashboard Cite

show abstract

Mechanisms for fatigue and wear of polysilicon structural thinfilms

Abstract: This suggests a predominantly abrasive wear mechanism, controlled by fracture, which commences by the first particles created by adhesive wear.

Cited by 1 publication

References 9 publications

Design of surface micro-machined inertial MEMS sensor with meta-heuristic topology optimization.

Design of surface micro-machined inertial MEMS sensor with meta-heuristic topology optimization.

Contact Info

Product

Resources

About