1999
DOI: 10.1364/ao.38.000113
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Michelson interferometer for precision angle measurement

Abstract: An angle-measuring technique based on an optical interferometer is reported. The technique exploits a Michelson interferometric configuration in which a right-angle prism and a glass strip are introduced into a probe beam. Simultaneous rotation of both components along an axis results in an optical path difference between the reference and the probe beams. In a second arrangement two right-angle prisms and glass strips are introduced into two beams of a Michelson interferometer. The prisms and the strips are r… Show more

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“…정밀측정은 기초과학 및 응용기술 분야에서 가장 중요한 주제중의 하나이며, 미세한 길이 변화를 가장 정밀하게 측정 할 수 있는 대표적인 방법은 간섭계를 이용하는 것이다 [1][2][3] . 간섭계는 빛이 진행하는 두 경로의 길이차이에 따라 발생하 는 간섭무늬를 측정하여 입사하는 빛의 특성 측정이나 광경 로 상에 놓인 매질의 굴절률, 두께 등의 광학적인 특성을 평 가하는데 많이 이용된다 [4][5][6] . 간섭계를 구성하는데 있어서 가 장 중요한 것은 미세한 광학계의 정렬과 더불어 간섭계의 두 경로 사이의 상대적인 위상이 안정되게 유지되어야 한다 [7][8][9] .…”
Section: 서 론unclassified
“…정밀측정은 기초과학 및 응용기술 분야에서 가장 중요한 주제중의 하나이며, 미세한 길이 변화를 가장 정밀하게 측정 할 수 있는 대표적인 방법은 간섭계를 이용하는 것이다 [1][2][3] . 간섭계는 빛이 진행하는 두 경로의 길이차이에 따라 발생하 는 간섭무늬를 측정하여 입사하는 빛의 특성 측정이나 광경 로 상에 놓인 매질의 굴절률, 두께 등의 광학적인 특성을 평 가하는데 많이 이용된다 [4][5][6] . 간섭계를 구성하는데 있어서 가 장 중요한 것은 미세한 광학계의 정렬과 더불어 간섭계의 두 경로 사이의 상대적인 위상이 안정되게 유지되어야 한다 [7][8][9] .…”
Section: 서 론unclassified
“…Under certain conditions, the principles of angle measurement are also applicable to displacement measurement. Conventionally, the three main optical methods for angle measurement with high resolution and accuracy are: interferometers, internal-reflection and autocollimators [4][5][6][7][8]. An interferometer utilizes phase information to measure angular and linear displacement with high signal-to-noise ratio and high resolution [9].…”
Section: Introductionmentioning
confidence: 99%
“…Angle measurement techniques are important in optical interferometry, optical processing, metrology and spectroscopy [1][2][3][4][5][6][7][8][9][10][11]. In these techniques optical path difference (OPD) at the output port is created using assembly of rotating mirrors which is inherently a nonlinear function of rotation.…”
Section: Introductionmentioning
confidence: 99%