Miniaturisierter Abstandssensor, hergestellt nach dem LIGA-Verfahren

Abstract

Schlagwörter: LIGA-Technologie, Abstandssensor, polymerer Wellenleiter, Triangulation, Mikrooptik Unter Anwendung des LIGA-Verfahrens wurde ein miniaturisierter Ahstandssensor hergestellt, der nach dem Triangulationsvetfahren arbeitet. Dabei werden multimodige Wellenleiteraufbauten strukturiert, deren Seitenwände optische Elemente wie Linsen und Spiegel darstellen und somit in vertikaler Richtung eine Abbildung des Lichtes erlauben. Für die Abbildung in horizontaler Richtung werden Linsen in den Aufl?au eingesetzt. Mit den realisierten Sensoren können Abstände zwischen 2 mm und 6 mm gemessen werden, wobei die höchste Empfindlichkeit zwischen 2,5 mm und 3,5 mm erzielt wird. Durch Modifikation des Designs kann die Sensorcharakteristik den Meßaufgaben angepaßt werden. Miniaturized Distance Sensor Fabricated by the LIGA ProcessUsing LIGA-Technology a miniaturized distance sensor based on the triangulation principle has been fabricated. The sensor optic is realized in a multimode waveguide structure byforming the sidewalls as lenses or mirrors focusing or collimating the light in vertical direction. Cylindrical LIGA lenses which are mounted into the waveguide structure form the beam in horizontal direction. The fabricated sensors allow to detect distances in between 2 mm and 6 mm. The highest sensitivity is achieved in the ränge between 2.5 mm to 3.5 mm. These values can be changed by modification ofthe design.