Modeling of coupled silicon beams

Acoustoelectronic transducer of angular velocity

“…Тому пристрої на ПАХ активно впроваджуються при ство-ренні активних та пасивних ПП: температури, воло-гості, сили і тиску, складу газового середовища, переміщення, швидкості та прискорення, крутного моменту, напруженостей електричного та магнітного полів [4][5][6][7][8][9][10][11][12][13][14][15][16][17][18][19][20][21][22][23].…”

Acoustoelectronic transducers with contactless sensitive elements

“…В останні роки пристрої на ПАХ впроваджуються також у безпровідні радіовимірювальні системи, які містять пристрій опитування і обробки інформації та дистанційно віддалені безпровідні перетворювачі на поверхневих акустичних хвилях і застосовуються для радіомоніторингу оточуючого середовища та конт-ролю параметрів рухомих об'єктів, у тому числі вони можуть функціонувати в агресивному середовищі [12][13][14][15][16][17][18][19].…”

“…Аналіз літературних даних і постановка про-блеми Зазвичай, в акустоелектронних перетворювачах фізичних величин на ПАХ використовується чутли-вість спеціальних зрізів п'єзоелектричних матеріалів до напружень та деформацій. Недоліком перетворю-вачів, в яких здійснюється деформація звукопроводу, є низька надійність, внаслідок можливого руйну-вання мембрани через крихкість п'єзоелектричного звукопроводу при перевантаженнях та складність виготовлення мембран у звукопроводі, на основі якого виготовляється модуль на ПАХ для кожного заданого динамічного діапазону вимірювальної вели-чини [1][2][3][11][12][13][14][15][16][17].Принцип дії перетворювачів температури, волого-сті, напруженостей електромагнітного поля базується на зміні фазової швидкості та акустичної довжини пристрою на ПАХ при дії навколишнього середовища на поверхню звукопроводу [1-2, 13, 16] або на зміні коефіцієнта відбиття ПАХ від зустрічно-штирових перетворювачів (ЗШП), що сполучені із зовнішніми чутливими елементами, на які діє фізична величина [18]. …”